산업통상부

표준화로 국산개발 반도체장비 상용화 앞당긴다.

- 원자층증착장비(ALD) 성능평가 방법 등 35종 표준개발 보급 -

□ 2015년까지 반도체장비 국산화율 50% 달성을 목표로 하는 정부 계획을 체계적으로 지원하기 위하여 산업자원부 기술표준원(원장 최갑홍)은 국산개발 신기술 장비인 원자층증착장비(ALD) 성능평가 방법 등 35종의 표준 개발을 목표로 하는 「반도체장비 표준화 5개년 계획」을 수립하여 발표함

* 원자층증착장비(ALD : Atomic Layer Deposition) : 나노급 기술을 적용한 차세대 증착방법으로 웨이퍼 표면에서 원료의 흡착 및 반응을 통해 원자층 두께 정도의 박막을 형성하는 장비이며 국내에서는 주성엔지니어링(주), (주)아피에스 등에서 생산함

□ 우리의 반도체 산업은 세계적인 경쟁력을 갖고 있으나 정작 반도체를 만드는 장비는 18%만이 국내에서 생산․공급될 정도로 산업기반이 취약한 실정이어서 이를 해결하기 위한 대책 마련이 시급한 상황임

* 반도체 디바이스 및 반도체장비 시장규모(‘05년도 실적, 한국반도체산업협회 자료)

ㅇ 우리나라는 대부분의 장비를 일본과 미국에서 수입하여 사용하고 있으며, 부품 및 장비의 신뢰성․성능을 평가하기위한 표준 인프라도 미흡하여 국내의 장비업체들이 제품을 개발하여도 국내외 수요 기업의 구매로 연결시키기에는 어려움이 많음

* 붙임 : 보도자료 전문