반도체 제조장비의 국가 표준 추진
- 담당자박광호
- 담당부서기계건설표준과
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- 등록일2016-12-09
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반도체 제조장비의 국가 표준 추진 - ‘반도체 제조장비의 안전지침(안)’ KS 제정을 위한 공청회 개최 - |
□ 지식경제부 기술표준원(허경 원장)은 반도체생산 세계 3위 국가의 위상에 걸맞는 반도체 제조장비의 안전성 확보를 위해, 「반도체 제조장비의 안전지침」에 대한 국가표준안을 마련하고 7월 9일 11시에 엘센터(양재역 7번출구)에서 KS 공청회를 개최한다고 밝혔다.
ㅇ 반도체 제조장비의 안전에 관한 국제표준(IEC)이 제정(‘09.12)됨에 따라 조기 국가표준의 도입을 위해 산․학․연의 관련전문가로 구성된 ‘표준전문위원회’에서 심도있는 검토를 거쳐 지난 6월 23일부로 KS제정 예고 고시한 바 있다.
* IEC 60204-33: 기계안전 - 기계의 전기설비 - 제33장: 반도체 제조장비의 요구사항
ㅇ 현재, 국내 반도체 제조를 위한 관련장비 중 주로 핵심장비는 해외 수입 비중이 높고 후공정 및 테스트장비 위주로 국내 장비업체에게 생산하고 있는 실정이며,
ㅇ 제조장비의 안전성 확보를 위해 노동부의 안전인증(S-마크)과 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 단체표준, 유럽표준 등을 인용하면서 조금씩 다른 표준이 적용되어 왔다.
※ SEMI의 SEMI-S2에 대한 적합성 평가서와 유럽연합의 CE-Mark, 한국산업 안전보건공단의 S-Mark 등 제3자 인증기관에서의 안전인증이 이루어지고 있다.
* 붙임 : 보도자료 전문