산업통상부

산업통상자원부가 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스의 안전 관련 규제를 개선해 기업 부담을 완화합니다. ​

그 내용을 알아봅니다. ​

➀ 차세대 EUV장비 국내 도입 허용 기준 개선​

(현행) 신소재재질의 배관(슈퍼듀플렉스강)을 사용한 차세대 EUV장비가 개발 완료 예정이나 신소재 배관에 대한 고압가스법령 내 사용규정이 없어 국내 도입 불가​

(개선) 안전성 검토 후 가스상세기준을 개정해 국내도입이 가능하도록 할 예정

② 방호벽 관련 다양한 설치기준 허용​

(현행) 반도체 공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물 구조로, 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 지주의 고정 방법으로는 지주 설치가 곤란하고, 방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치 가능해 공장 증설이 어려움​

(개선) 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우 케미컬앵커 등 다양한 지주설치 방법을 허용하고, 방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준 마련​

③ 공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛) 기준 개선​

(현행) 저장용 실린더캐비닛을 공장내부에 설치할 경우 설치 장소의 지붕은 가벼운 불연재료만 사용해야 함. 따라서 복층으로 공장을 증설할 경우 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 되어 하중을 견디기 어려워 실린터캐비닛을 공장에 설치하기 곤란

(개선) 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더캐비닛의 안전성을 검증한 후 지붕을 가벼운 불연재료만 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준 마련

* 보다 자세한 내용은 에너지안전과 이승준 사무관(044-203-3983)에게 문의 바랍니다.