산업통상부

산업자원부 공고 제1999-188호
        초소형정밀기계기술개발사업 99년도 기술개발사업계획 추가모집공고
        ===============================================================
선도기술개발사업중 초소형정밀기계기술 개발사업분야 99년도  기술개발사업계획을
추가공모하오니 신청하여 주시기 바랍니다.
                                                        1999년 11월 20일
                                                산업자원부장관, 과학기술부장관
1. 신청분야
  ○ 기반기술 및 제품선행기술분야 : ①Micro Combusion Device설계 및 제작
     ②생체신호획득 및 생체자극을 위한 집적 마이크로 시스템 ③TFBAR의 제조와
     분석기술 ④마이크로 구조물의 미소열분포 측정기술 개발 ⑤MEMS기술을 이용한
     초소형 기계적 고온/대전류용 스위치 array개발 ⑥Silica-Polymer Hybrid MEMS
     소재 연구 ⑦Stereolithograpy 기술을 이용한 MEMS 구조물 제작 ⑧초소형 질량
     분석기 제작 기술 개발 ⑨이동 및 위성통신 단말기용 초소형 대역통과 여파기
     제작 ⑩자가진동형 디바이스 어레이 연구개발 ⑪MEMS기술을 이용한 IMT2000에
     응용 가능한 초소형 집적화 L,C수동 소자 개발 ⑫GaAs 미세가공 기술개발
     ⑬LIGA 공정지원
2. 신청자격
 가. 산·학·연 등 주관연구 수행을 희망하는 기관 및 참여 희망 업체
 나. 대학 또는 연구기관(기업부설 제외)이 참여기업 없이 수행할 경우 정액기술료
 면제
3. 접수기간 및 접수처
 가. 접수기한 : 1999년 11월 27일(토) 12:00
 나. 접 수 처 : 전자부품연구원 마이크로머신연구센터
     (451-860) 경기도 평택시 진위면 마산리 455-6
     전화 : 0333-6104-067,  FAX : 0333-6104-147
 다. 세부사업신청요령 및 사업제안요구서 안내 : http://mems.keti.re.kr